晶圆植球机的尺寸:850(W)x1100(D)x1750(H)mm二、WLCSP植球机TBM-10001)功能自动晶圆植球:自动对位,自动印刷和自动植球采用钢网印刷方式印刷助焊剂和锡球2)特点上下视野镜头自动定位,运动机构采用直线电机和DD马达,提高速度和精度独有的植球机构,特别适合微球植球,不伤球模块化结构,可以做成单机,也可以做成连线式机台;3)参数对应球大小50〜300微米对应产品:6、8、12英寸晶圆植球良率:不良率≤30PPM速度:UPH40(12英寸晶圆、200微米球)对应球50-300微米外形尺寸:3595(W)x1685(D)x1650(H)毫米。晶圆植球设备采用了金属模板印刷法进行植球。微球晶圆植球机官网
晶圆级微球植球机:晶圆级封装中鉴于电镀方式和印刷锡膏方式的缺点,业界一直在寻找替代解决方案,晶圆级植球技术的突破恰好满足了这一需求,并且随着多层堆叠技术(MCM)的发展,要求晶圆与晶圆间具有高精度的多引脚的10um级的互联,晶圆级植球技术可以稳定地实现。晶圆在前道刻好回路后,需要在各个芯片凸点上布上锡球,以达成电路的一个连通。目前主流以8寸,12寸晶圆为主,每片晶圆上有分布上千个芯片,每片芯片的凸点从几百到几千不等,需要在凸点上植入的锡球大小从50微米到300微米左右。微球晶圆植球机官网BGA全自动植球机适用于高重复定位型植球加工行业。
bga植球检查修补一体机的产品质量较高。植球检查修补一体机能够合理精确地生产,控温和控风速能力强,对PCB板和BGA芯片的损伤小,返修效果较好,因此其生产的产品质量非常好。如今BGA芯片做得非常小,植球检查修补一体机也能够使BGA锡球和PCB焊盘点对对准确对位;有多种尺寸钛合金热风喷嘴,便于更换;可以设置操作权限密码,以防工艺流程被篡改。一般回流焊的焊接温度精度要求是±1℃,温度控制精度大于±1℃的bga返修台,建议你不要购买,因温控精度低,没有办法达到你温度曲线设置的精确温度。尤其在小间距bga焊接时,极其容易产生桥接。一些公司的产品,因温控精度的控制技术不过关,无法达到这个精度。
全自动植球机,其包括架台、网板、供球机构、六自由度机械手、刮板及三维力传感器,网板通过网板夹持机构固定于架台上,所述的网板上设有与晶圆PAD点相对应的网孔,供球机构向网板上供应锡球;六自由度机械手为刮板动作的驱动机构,用于模仿手工植球方式,刮板设在六自由度机械手末端,受六自由度机械手带动而进行植球动作,三维力传感器设在六自由度机械手末端与刮板之间,用于检测植球过程中刮板的受力突变,并将刮板受力信息传递给六自由度机械手。与现有技术相比,本实用新型的植球机采用六自由度机械手,模仿人工植球动作,使植球动作更柔性、平稳,在工厂大批量生产情况下,稳定的植球质量可以得到保障。晶圆植球机采用折叠式刮臂,重力可调,刮刀清洗方便。
业界流行的工艺有丝网印刷法、针转移法、点滴法等。锡球的直径为0.1~lmm,球径越小,植球的难度越大。植球设备由3个主要部分(印刷工程、搭载工程、检查工程)和2个辅助部分(装载器、卸料器)组成。印刷工程是将助焊剂等均匀、精确地印刷在电路基板的电极位置上,以便大幅度提高球的搭载率和回流后的黏附强度。搭载工程是用吸头从供给机中吸起锡球,在锡球不变形的条件下将其整齐排列,然后通过图像处理技术精确定位,将锡球搭载到基板上,较后用CCD系统对已完成植球的基板进行检测。植球机的主要技术指标包括较大植球区域、锡球直径、单次植球数量、单次植球时间、植球精度等。晶圆植球机可对应硅晶圆和定制化晶圆。微球晶圆植球机官网
晶圆植球机实施植球工艺的植球技术是例装芯片封装、BGA/WLCSP先进封装工艺中的关键技术。微球晶圆植球机官网
植球机的主要构件包括超声电源、换能器、送线机构、劈头、温度可控的夹具等。植球过程是,将基板固定在热台上,移动劈刀至凸点上方:焊接时,金丝通过中空的劈刀到达劈刀尖,流出可控制长度的尾丝;电子火焰熄灭(EletronicFlame-of,EFO)系统产生高电压对尾丝进行放电,其电火花产生的高温能瞬间熔化金丝的尾丝端部:通过表面张力效应,熔化的尾丝端部迅速凝固形成金凸点,在热超声的作用下,凸点焊接在基板上:劈刀水平移动,产生横向切力,使得金线在凸点的尾部断开,从而完成打点。在实际操作中,金凸点的直径一般控制为金丝直径的2-3倍。制作金凸点的植球机的主要设置参数包括凸点高度、线尾长度、超声功率、超声时间、凸点间距、打火高度、凸点数量等。在进行焊料凸点制作时,植球工序主要包括助焊剂涂敷、锡球贴放、回流焊和检测。其中,助焊剂涂敷是将助焊剂涂敷在基板焊盘上,起到增加锡球流动性以确保固化工序的质量,以及增加焊盘黏附性以确保锡球贴放成功的双重作用。微球晶圆植球机官网
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